In dieser Arbeit wurde an einer GEC-Referenzzelle mit gepulster induktiver Radiofrequenz-Anregung mit Hilfe verschiedener diagnostischer Methoden die rumliche Verteilung und das zeitliche Verhalten der Ladungstrger im Afterglow an verschiedenen Edelgas-Sauerstoff-Entladungen (Ar, Kr und Ne) untersucht. Durch die Verwendung einer modifizierten induktiven Anregung konnten Messungen erstmals ber einen weiten Bereich der Plasmadichte und der Gasmischungen durchgefhrt werden. Der Schwerpunkt der Untersuchungen lag dabei auf der Diagnostik von negativen Sauerstoffionen mittels laserinduziertem Photodetachment an einer unkompensierten Langmuirsonde und der Identifikation der Bildungs- und Verlustprozesse negativer Ionen whrend der Entladung und im Afterglow des zerfallenden Plasmas. Durch zustzliche Untersuchungen mit einem Plasmamonitor, Sonden und Emissionsspektroskopie wurde die Bedeutung metastabiler Edelgasatome an den Bildungsprozessen negativer Ionen geklrt und fundamentale Plasmaparameter erschlossen. Mit diesen Daten konnte mit einem einfachen globalen Ratengleichungs-Modell die Reaktionskinetik der negativen Ionen beschrieben werden. Durch die Entwicklung dieses globalen Modells knnen Teilchendichten wichtiger Spezies in der stationren Entladung und zeitliche Verlufe der Teilchendichten im Afterglow berechnet und beschrieben werden. Fr die Ratenkoeffizienten der Elektronenstoprozesse werden im globalen Modell Maxwell-Verteilungen der Elektronenenergie angenommen. Messungen mit einer passiv kompensierten Langmuirsonde besttigen, dass die Annahme einer Maxwell-Verteilung bei der Elektronenenergie-Verteilungsfunktion fr den Bereich der untersuchten Entladungsbedingungen weitgehend berechtigt ist. Durch Messungen mit laserinduziertem Photodetachment bei λ=1064 nm konnte der Anteil der O₂^--Ionen bestimmt werden. Es zeigt sich, dass der Anteil der O₂^--Ionen whrend der Entladung unter 6% liegt. Der durch Moleklanionen hervorgerufene Anteil am Messsignal bei der Detektion der O^- ist, auch wegen des gegenber O^- viermal geringeren Wirkungsquerschnittes fr Photodetachment bei 532 nm, vernachlssigbar. Wie ortsaufgelste Messungen mit laserinduziertem Photodetachment zeigen, sind die Anionen aufgrund des positiven Plasmapotentials whrend der Entladung und auch fr eine lngere Zeit im Afterglow im Zentrum der Entladung eingeschlossen. Dies wird zustzlich durch zeitaufgelste Messungen der Anionen mit einem Plasmamonitor besttigt. Erst nach dem bergang zu einem elektronenfreien Ionen-Ionen-Plasma im spteren Afterglow knnen die Anionen das Entladungszentrum verlassen und den Plasmamonitor erreichen. Der bergang zu einem Ionen-Ionen-Plasma kann auch an den Verlufen der Elektronensttigungsstrme, die mit einer Langmuirsonde im Afterglow gemessen wurden, beobachtet werden. Die Elektronen knnen aufgrund eines durch Anionenanwesenheit reduzierten ambipolaren Feldes und ihrer hheren Beweglichkeit gegenber den Ionen das Plasma schnell verlassen. Dies kann bei hohen Anionenanteilen zu einer schnellen Abnahme der Elektronendichte im Afterglow und letztlich zu einem Ionen-Ionen-Plasma fhren. Beim bergang zu einem Ionen-Ionen-Plasma kommt es zu einem abrupten Zusammenbruch der Elektronenstrme. Die zeitlichen Verlufe der O^--Anteile wurden fr verschiedene Edelgas-Sauerstoff-Mischungen und unterschiedliche Plasmadichten bestimmt. Es zeigen sich sehr unterschiedliche zeitliche Strukturen in den Verlufen der Anionenanteile. Durch Vergleiche der Messungen mit Berechnungen des globalen Modells findet man fr die Verlufe der Anionenanteile im Afterglow einen starken Einfluss von der zeitlichen Abnahme der O₂(a¹Δ_g)-Dichte und des atomaren Sauerstoffs. Bei Messungen in Edelgas-Sauerstoff-Entladungen mit hoher Plasmadichte wird kurz nach Ausschalten der Entladung ein Anstieg in der Anionendichte beobachtet. Dieser Anstieg lsst sich mit dem globalen Modell nur mit einer zustzlichen Reaktion fr die Bildung von negativen Ionen zeigen. Das globale Modell wurde um diese zustzliche Bildungsreaktion von O^- ber hoch angeregte Sauerstoffmolekle¹⁾ ergnzt. Diese Reaktion hat keine Schwellenenergie und wird erst mit fallender Elektronentemperatur wirksam. Mit dem zustzlichen Bildungskanal fr O^- sind die Berechnungen des globalen Modells mit den Messung in bereinstimmung zu bringen. Durch Messungen der optischen Emission konnten elektronisch angeregte Atome identifiziert werden, die durch gegenseitige Neutralisation von Kationen und Anionen erzeugt wurden. Auch bei diesen Messungen lassen sich bei hohen Plasmadichten nur unter Bercksichtigung der zustzlichen Bildungsreaktion fr O^- bereinstimmungen zwischen Messungen und Berechnungen der Emission im Afterglow erzielen. Ein mglicher Einfluss metastabiler Edelgasatome auf die Bildung von O₂^M und damit auf die Bildung von O^- wurde durch Photodetachment-Messungen in Krypton-Sauerstoff- und Neon-Sauerstoff-Entladungen untersucht. Ein Energieaustausch von metastabilen Edelgasatomen mit O₂ unter Bildung von O₂^M konnte nicht festgestellt werden. Auch eine berprfung dieses Bildungskanals mit dem globalen Modell zeigte keine Hinweise auf eine Bildung von O₂^M durch Ste von metastabilen Edelgasatomen mit O₂. Der Populationsverlust von metastabilen Edelgasatomen im Afterglow der Entladung wurde mittels zeitaufgelster Appearance Potential Massenspektroskopie gemessen. Durch molekularen Sauerstoff werden metastabile Edelgasatome effizient abgeregt (Quenching). Die Quenching-Raten wurden fr verschiedene Edelgas-Sauerstoff-Mischungen bestimmt. Das effiziente Quenching metastabiler Argonatome konnte zustzlich durch die Beobachtung der Entladung mittels einer CCD-Kamera gezeigt werden. Weitere Messungen der Anionenanteile wurden in der Diffusionskammer einer Helikonentladung durchgefhrt, in der durch einen besseren Einschluss des Plasmas lngere Diffusionszeiten herrschen. In der Diffusionskammer beobachtet man hnliche zeitliche Verlufe der Anionenanteile wie in der GEC-Entladung. Nur unter Bercksichtigung der Bildung von O^- ber dissoziative Elektronenanlagerung an O₂^M-Molekle knnen die Messungen durch das globale Modell beschrieben werden. Die Messungen an den zwei verschiedenen Entladungen (GEC-Referenzzelle mit induktiver Rf -Anregung und Diffusionskammer einer Helikonentladung) besttigen die Annahme des weiteren Bildungsprozesses fr O^- ber O₂^M, der erst mit fallender Elektronentemperatur wirksam wird.